客戶單位：山東大學(xué)

應(yīng)用需求：與超精密加工機(jī)床聯(lián)用，在線檢測(cè)納米尺度車刀刀尖的磨損尺寸

功能特點(diǎn)：

1、將定制的原子力掃描頭加載在車床主軸上，車刀在超精密機(jī)床上對(duì)零件進(jìn)行切削加工出現(xiàn)磨損后，無需將刀尖取下來直接就可以利用原子力顯微鏡掃描頭進(jìn)行在線測(cè)量磨損量，加工系統(tǒng)再對(duì)刀尖磨損實(shí)時(shí)補(bǔ)償，再次加工無需重新對(duì)刀。不僅提高了效率，而且還避免了重新對(duì)刀帶來的加工誤差。

2、定制了用于刀尖測(cè)量的顯微對(duì)準(zhǔn)裝置，同時(shí)采用俯視觀察和側(cè)視觀察的顯微鏡工作，為了克服刀尖怪異形狀的反光特性，利用了刀尖的外形，采用同軸光和輪廓光同時(shí)照明的方式進(jìn)行成像。以便在進(jìn)行刀尖直徑掃描測(cè)量時(shí)，能夠快速準(zhǔn)確的找到刀尖位置使原子力顯微鏡針尖對(duì)準(zhǔn)掃描，克服常規(guī)方法無法準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)刀尖等問題。

核心參數(shù)：

1、掃描方式：驅(qū)動(dòng)針尖XYZ掃描

2、掃描范圍：XY方向60um*60um，Z方向8 um

3、掃描分辨率：XY向0.5nm，Z向0.1nm

4、系統(tǒng)噪音水平：RMS≤100 pm

5、自動(dòng)趨近行程：5mm

6、刀尖對(duì)準(zhǔn)光學(xué)放大倍數(shù)：俯視10X，側(cè)視0.6X~5X

7、照明方式：同軸照明和輪廓光照明

部分測(cè)試圖片：

車刀刀尖1

車刀刀尖2